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產品中心日本大塚Otsuka膜厚測試儀日本Otsuka大塚MINUK光波動場三次元顯微鏡
產品型號：
更新時間：2026-02-27
廠商性質：代理商
訪問量：422
服務熱線19938139269（馬經理）
產品分類
日本Otsuka大塚MINUK光波動場三次元顯微鏡-成都藤田科技提供
核心對比與OPTM優勢：
技術差異化：
OPTM系列：基于分光干涉法，結合顯微光學系統，實現反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復雜多層結構，技術解決透明基板干擾。
Smart膜厚儀：側重便攜性與快速篩查，適用于常規單層膜厚測量，但精度與功能擴展性不及OPTM系列。
應用場景：
OPTM適用于研發（R&D）與高精度QC，如半導體晶圓、光學濾光片；Smart膜厚儀更適合產線快速抽檢。
性價比優勢：OPTM以中型設備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門檻更低，軟件內置NIST校準追溯，確保數據可靠性。
產品信息
特點
可評價nｍ級的透明的異物?缺陷 一次拍照即可瞬時獲得深度方向的信息 無需對焦，可高速測量 可非破壞?非接觸?非侵入的測量 可在任意的面進行高速掃描,輕松決定測量位置
規格
| 分辨率 x , y | 6 9 1n m（ 一次拍照）、4 8 8 n m（ 合成） |
| 視野 x , y | 7 0 0×7 0 0μm |
| 分辨率 z | 10nm（相位差） |
| 視野 z | ±700μm |
| 樣品尺寸 | 10 0×8 0×t 2 0 mm（安裝通用樣品架時） |
| 樣品臺 | 微動X Y樣品臺（自動） X:±10 mm Y：±10 mm 粗動樣品臺 X：12 9 mm Y：8 5 mm |
| 激光 | 波長 6 3 8 nm 輸出 0 .3 9 mW 以下 C la s s1 ( 對測量樣品的照射強度) |
| 尺寸（長×寬×高）mm | 本體：5 0 5（W）×6 3 0（D）×4 3 9（H） ± 2 0 m m ※不含P C、附屬品 |
| 重量 | 41k g |
| 功耗 | 本體：2 9 0 VA ※不含P C、附屬品 |
測量案例
將肉眼無法看見的透明薄膜表面可視化?定量化
可以非接觸、非破壞性、非侵入性地獲得nm級的形狀信息。通過一次拍照即可獲取深度方向的信息，可以將透明薄膜表面上肉眼不可見的劃痕和缺陷的橫截面形狀數值化實現可視化。
觀察透明薄膜內部的填充劑
肉眼無法看到的透明薄膜內部的填充劑，通過一次拍照即可觀察到。此外，通過在測量后改變深度方向的焦點，可以識別到各個深度的填充劑。
日本Otsuka大塚MINUK光波動場三次元顯微鏡-成都藤田科技提供
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