日本Otsuka大塚Smart膜厚儀光學分析專家-成都藤田科技提供

Smart膜厚儀 vs OPTM顯微分光膜厚儀——革新光學測量的雙引擎

核心對比與OPTM優勢：

1. 技術差異化：

• OPTM系列：基于分光干涉法，結合顯微光學系統，實現反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復雜多層結構，技術解決透明基板干擾。

• Smart膜厚儀：側重便攜性與快速篩查，適用于常規單層膜厚測量，但精度與功能擴展性不及OPTM系列。

2. 應用場景：

• OPTM適用于研發（R&D）與高精度QC，如半導體晶圓、光學濾光片；Smart膜厚儀更適合產線快速抽檢。

3. 性價比優勢：OPTM以中型設備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門檻更低，軟件內置NIST校準追溯，確保數據可靠性。

產品信息

特點

● 可攜帶至現場的手持式

● 可測量0.1μm單位

● 具有形狀的樣品也可非破壞的測量

● 不論基材材質、可測量其鍍膜

測量項目

Smart手持式膜厚儀與其他膜厚儀的比較

與桌上型光學膜厚儀相比，Smart膜厚儀在“現場"以非破壞式直接量測樣品，且可以量測特殊形狀樣品。

與接觸式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不僅不會破壞您的樣品，也不會因為用戶不同而產生誤差且遠高于接觸式膜厚計的量測精度。

與渦電流/電磁式膜厚儀相比，Smart膜厚儀不需要制作檢量線，且可以量測非金屬基材并且得到值！

日本Otsuka大塚Smart膜厚儀光學分析專家-成都藤田科技提供