三豐MITUTOYO三坐標測量0.00001mm高分辨率

超高精度數(shù)控坐標測量機 LEGEX

最小顯示尺寸（毫米）：0.00001測量范圍 X 軸 （mm） ： 500測量范圍 Y 軸 （mm） ： 700測量范圍 Z 軸 （mm） ： 450

具有高精度的超高精度數(shù)控坐標測量機

主要特點

• LEGEXシリーズは、誤差要因を的に分析、排除した、最高クラスの精度を誇る超高精度CNC三次元測定機です。

• 本體ベース部は、素材を厳選し、高剛性、高減衰性を実現(xiàn)するため密閉化構造を採用しています。さらに、FEM構造解析シミュレーションを用いた応力分析を的に行い、荷重変動などによる変形を最小限にした幾何學運動精度を保証します。その他にも駆動部の構造、振動対策など、超高精度を実現(xiàn)するため數(shù)々の技術を投入しております。

• 位置検出用の測長ユニットには、熱膨張係數(shù)≒0の超高精度結晶化ガラススケールと高分解能の高性能反射形リニアエンコーダの組み合わせによる、超高精度測長ユニット（自社製）が搭載され、高い位置検出能力を有し、超高精度機制御を可能にしています。

• 超高精度機の設置環(huán)境は、恒溫室クラスが必要でしたが、溫度補正機能により、幅広い溫度環(huán)境下での精度保証を可能にしています。

• 幅広いワークを簡単かつ超高精度な測定サポートをするために、プローブ（接觸形、非接觸形）、データ処理裝置をはじめ數(shù)々のオプションをご用意しております。

規(guī)范

三豐MITUTOYO三坐標測量0.00001mm高分辨率