產(chǎn)品規(guī)格

核心對比與OPTM優(yōu)勢：

1. 技術(shù)差異化：

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• OPTM系列：基于分光干涉法，結(jié)合顯微光學(xué)系統(tǒng)，實現(xiàn)反射率分析，支持超薄膜（1nm）與復(fù)雜多層結(jié)構(gòu)，技術(shù)解決透明基板干擾。

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• Smart膜厚儀：側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測量，但精度與功能擴展性不及OPTM系列。

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3. 應(yīng)用場景：

• OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢。

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5. 性價比優(yōu)勢：OPTM以中型設(shè)備成本提供媲美橢偏儀的精度，且操作門檻更低，軟件內(nèi)置NIST校準(zhǔn)追溯，確保數(shù)據(jù)可靠性。

1. 微區(qū)測量能力：最小光斑直徑3μm，搭配自動XY平臺（200×200mm），實現(xiàn)晶圓、FPD（如OLED、ITO膜）等

   
   

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3. 微小區(qū)域的精準(zhǔn)厚度分布映射。

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5. 跨行業(yè)適用性：專為半導(dǎo)體（SiO?/SiN膜）、顯示面板（彩色光阻）、DLC涂層等行業(yè)設(shè)計，支持粗糙表面、傾斜結(jié)構(gòu)及復(fù)雜光學(xué)異向性樣品的分析。

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7. 安全與擴展性：區(qū)域傳感器觸發(fā)防誤觸機制，獨立測量頭支持定制化嵌入，滿足在線檢測（inline）與實驗室研發(fā)需求。

日本Otsuka大塚OPTM series嵌入分光膜厚儀成都藤田科技提供