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日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀
產品簡介:

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供
產品信息 特 長 薄膜到厚膜的測量范圍、UV~NIR光譜分析 高性能的低價光學薄膜量測儀 藉由反射率光譜分析膜厚 完整繼承FE-3000機種90%的強大功能 無復雜設定,操作簡單,短時...

產品型號:

更新時間:2025-02-21

廠商性質:代理商

訪問量:415

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19938139269(馬經理)

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日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀


產品信息

特 點

● 采用分光干涉法

● 搭載高精度FFT膜厚解析系統(第4834847號)

● 使用光學光纖,可靈活構筑測量系統

● 可嵌入至各種制造設備。

● 實時測量膜厚

● 可對應遠程操作、多點測量

● 采用壽命長、安全性高的白色LED光源

測量項目

多層膜厚解析

用 途

光學薄膜(超硬涂層、AR薄膜、ITO等)

FPD相關(光刻膠、SOI、SiO2等)


設備構成

單點型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

半導體晶圓的面內分布測量

玻璃基板的面內分布測量

多點型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實時測量

流向品質管理

真空室適用

導線型

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實時測量

寬度方向品質管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

設備構成

單點型

            日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

半導體晶圓的面內分布測量

玻璃基板的面內分布測量

多點型

            日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實時測量

流向品質管理

真空室適用

導線型

            日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

實時測量

寬度方向品質管理

測量案例

超硬涂層的膜厚解析

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀

核心特點

  1. 微區測量能力:最小光斑直徑3μm,搭配自動XY平臺(200×200mm),實現晶圓、FPD(如OLED、ITO膜)等微小區域的精準厚度分布映射。

  2. 跨行業適用性:專為半導體(SiO?/SiN膜)、顯示面板(彩色光阻)、DLC涂層等行業設計,支持粗糙表面、傾斜結構及復雜光學異向性樣品的分析。

  3. 安全與擴展性:區域傳感器觸發防誤觸機制,獨立測量頭支持定制化嵌入,滿足在線檢測(inline)與實驗室研發需求。

日本Otsuka大塚FFT膜厚解析嵌入式檢測儀-成都藤田科技提供

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