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日本Otsuka大塚Smart膜厚儀光學(xué)分析專家-成都藤田科技提供 側(cè)重便攜性與快速篩查，適用于常規(guī)單層膜厚測(cè)量，但精度與功能擴(kuò)展性不及OPTM系列。 OPTM適用于研發(fā)（R&D）與高精度QC，如半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)濾光片；Smart膜厚儀更適合產(chǎn)線快速抽檢